噴頭反應器採用穿孔或多孔平面表面以在表面上均勻地分配反應氣體。這種配置可用於多晶圓的批量處理，但也適用於單圓晶片的處理。
噴頭反應器的孔洞結構對晶圓產生中的氣體沉積均勻性很重要。因此噴頭的設計攸關晶圓製作的完整度與可用性，而製造噴頭的製造商也需要能夠精準的加工及製造，這部分放心交給豪震，我們有多年精密加工的經驗，有一連串標準的製造工序與品管流程，解決您的精密需求。
